Halbleiter - TCHSOON Automatisierung – Förderbänder – Schneckenzuführung und -befestigung

Halbleiter

Lösungen

In der Halbleiterindustrie, wo die Grenzen der digitalen Welt definiert werden, erfordert jeder Fertigungsschritt Perfektion. Über die Präzision im Nanometerbereich und ultrareine Umgebungen hinaus hängt der Erfolg von einer hohen dynamischen Reaktion, einer extrem stabilen Steuerung und einer vollständig rückverfolgbaren Bewegungsausführung ab. TCHSOON ist auf die Bereitstellung von Kernlösungen für die Bewegungssteuerung und -ausführung für die präzise Materialhandhabung, die Montage im Mikrometerbereich und den hocheffizienten Transport innerhalb der Halbleiterfertigung spezialisiert.

Intelligenter ultrareiner Materialtransport

Unsere ultrareinen Fördersysteme zeichnen sich durch ESD-sichere und hochstabile Konstruktionen für den automatisierten Transfer von FOUPs und Präzisionskomponenten aus. Diese Systeme unterstützen eine Positionierung im Mikrometerbereich und eine partikelfreie Übertragung und dienen als „Präzisionsarterien“ für die Sicherheit und den Durchsatz hochwertiger Materialien.

Nanometergesteuertes Servopressen und -bonden

In kritischen Phasen wie dem Die-Bonden, der Flip-Chip-Montage und der Befestigung von Kühlkörpern spielen unsere hochpräzisen Servopresssysteme eine entscheidende Rolle. Durch den Einsatz der Linearmotor-Direktantriebstechnologie mit einer Reaktionszeit im Millisekundenbereich erreichen wir eine nanometergenaue Regelung von Kraft und Weg, wodurch eine stoßfreie und beschädigungsfreie Verbindung gewährleistet ist.

Integrierte hochpräzise Mikro-Montageeinheiten

Für komplexe Prozesse wie Drahtbonden, Präzisionsdosierung und aktive Linsenausrichtung bietet TCHSOON Mikro-Montageeinheiten, die von hochdynamischen Linearmotoren angetrieben werden. Diese Systeme erzielen schnelle, präzise Bewegungsbahnen und eine Synchronisation mehrerer Achsen im mikroskopischen Maßstab und erfüllen damit die strengen Anforderungen an Genauigkeit und Taktzeit von Halbleiteranlagen.

Kernbewegungsmodule für Präzisionsgeräte

Die leistungsstarken Elektrozylinder und Linearmotor-Module von TCHSOON zeichnen sich durch spielfreie, hochsteife und wartungsfreie Funktion aus. Sie werden häufig in Wafer-Positioniertischen, Präzisionsausrichtungsmechanismen und Ventilantrieben eingesetzt und bieten die für die Fertigung und Messtechnik erforderliche ultrapräzise Linearbewegung.

Ausgewählte Fallstudien

EDS